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美光放弃 4F² DRAM 转向 3D 架构并引入 High NA EUV
原标题:美光认为 4F² DRAM 内存无可行扩展路径,1ε 用晶圆键合、 ζÅ 用 High NA EUV
- 美光判定 4F² DRAM 无规模化前景,确立 3D DRAM 为后续主要发展路径。
- 1ε 节点引入晶圆键合,ζÅ 节点导入 High NA EUV,推动制程向亚 10nm 迈进。
- DRAM 中的 CMOS 逻辑电路也将实现 3D 化,以优化整体性能与密度。
AI 聚合热点事件 · 2026/10/22
美光在技术研讨会上宣布,因成本与复杂度问题,4F² DRAM 缺乏可行扩展路径,未来将全面转向 3D DRAM。其第 8 代节点(1ε)将引入晶圆键合技术,而首代亚 10nm 节点(ζÅ)则计划采用 High NA EUV 光刻,旨在通过 CMOS 逻辑电路 3D 化实现显著性能提升。
曲线只比较全程持续完整观测的同一批信源;缺口小时数据已插值平滑,保持趋势连续。
原标题:美光认为 4F² DRAM 内存无可行扩展路径,1ε 用晶圆键合、 ζÅ 用 High NA EUV