制造执行系统

三星电子、SK 海力士、美光三大存储器原厂正与 SEMI 磋商晶圆厂机器人充电系统标准化，组建 RX（机器人转型）联盟。该联盟将先统一充电设备的结构兼容性，再把机器人电量信息接入制造执行系统，以统筹调度作业与充电时间，解决老旧晶圆厂空间受限、异构充电规格难以部署足够坞站的问题。